酸化亜鉛上のマイクロギャップにおける絶縁破壊電圧特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-054

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Characteristic of breakdown voltage between electrodes with micron meter gap on zinc oxide

著者名: 比田悠斗（兵庫県立大学）,三ツ橋昂起（兵庫県立大学）,岡田翔（兵庫県立大学）,上野秀樹（兵庫県立大学）

著者名(英語): Yuto Hida (University of Hyogo),Koki Mitsuhashi (University of Hyogo),Sho Okada (University of Hyogo),Hideki Ueno (University of Hyogo)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|誘電体|パルス電圧|酸化亜鉛|背後電極|micron meter gap|breakdown|dielectric|pulse voltage|zinc oxide|backing electrode

要約(日本語): 近年，半導体の微細化により，ESD（静電気放電）による機器内部の故障が問題とされている。また，デバイスのESDからの保護においては，誘電体沿面に形成されたマイクロギャップ中での放電現象とその原理解明が重要である。そこで，酸化亜鉛セラミックス（4.0eV）の基板を用いることで電子放出が容易となり，放電機構が変化する可能性がある。そこで本研究では酸化亜鉛上マイクロギャップにおけるインパルス電圧を印加した際の絶縁破壊電圧-ギャップ長特性を調査した。結果として，ZnO上ではギャップ長が変化しても絶縁破壊電圧はほぼ

本誌掲載ページ: 69-70 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 446 Kバイト