ループ型Ar/O2誘導熱プラズマの分光観測による基板上酸素原子スペクトル分布形状評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-066

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル：ループ型Ar/O₂誘導熱プラズマの分光観測による基板上酸素原子スペクトル分布形状評価

タイトル(英語): Evaluation of Spatial Profile of Oxygen Atomic Line Intensity above Substrate in Loop-Type Ar/O₂ Induction Thermal Plasmas

著者名: 不破知哉（金沢大学）,原弘也（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,幸本徹哉（シー・ヴィー・リサーチ）,川浦廣（シー・ヴィー・リサーチ）

著者名(英語): Tomoya Fuwa (Kanazawa University),Hiroya Hara (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University),Tatuo Ishijima (Kanazawa University),Yukiya Koumoto (CV Research Corporation),Hiroshi Kawaura (CV Research Corpor

キーワード: 誘導熱プラズマ|分光観測|Induction Thermal Plasmas|Evaluation of Spatial Profile

要約(日本語): 筆者らは，ループ型誘導熱プラズマ装置（Loop-ICTP）を開発している。これを用いて大面積・超高速表面改質を実現するためには，基板上での酸素原子が広く高密度で分布する必要がある。その一手法として，コイル電流値を増加させることが挙げられる。これに対して，電流増加時，基板に対する酸素原子の分布を検討する必要がある。電流を変更することで，酸素原子の分布に偏りが出る可能性があるためである。本報告では，電流値を変更した際の基板上Ar/O₂誘導熱プラズマに対する分光観測を行い，酸素原子発光スペ

本誌掲載ページ: 81-82 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 507 Kバイト