誘導熱プラズマを用いた単結晶ダイヤモンド成長における電力変調に対する原料ガス間歇供給遅れ時間依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-067

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Dependence of Intermittent Feed Time Delay of Source Gas on Power Modulation in Single Crystal Diamond Growth Experiments using Modulated Induction Thermal Plasmas

著者名: 東泰造（金沢大学）,細井大和（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）

著者名(英語): Taizo Higashi (Kanazawa University Graduate School of Natural Sciences),Yamato Hosoi (Kanazawa University Science and Technology Area),Yasunori Tanaka (Kanazawa University Graduate School of Natural Sciences),Tatsuo Ishijima (Kanazawa University Graduate

キーワード: 誘導熱プラズマ|ダイヤモンド成長|化学気相蒸着法|Induced thermal plasma|Diamond growth|Chemical vapor deposition method

要約(日本語): 筆者らは独自開発した，電力変調と原料ガス間歇導入を伴う誘導熱プラズマ（MITP）によるダイヤモンド膜高速成長を検討している。MITPでは基板に照射する熱流束・ラジカル粒子束を詳細に制御できる。本報告では，電力変調と原料ガス間歇導入を伴うMITPを単結晶ダイヤモンド基板へ照射し，単結晶ダイヤモンド成長を試みた。さらに本プロセスに対し，誘導熱プラズマを用いた単結晶ダイヤモンド成長における電力変調に対する原料CH4/H2ガス間歇供給遅れ時間を変更し，成長レートに与える影響を検討した。遅れ時間が0ms，1.875

本誌掲載ページ: 82-83 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 529 Kバイト