陰極と絶縁体の凹凸形状が真空中の沿面微小放電に与える影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-069

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Effect of unevenness of cathode and insulator configuration on surface micro-discharge in vacuum

著者名: 辻大雅（埼玉大学）,山納康（埼玉大学／筑波大学）

著者名(英語): Taiga Tsuji (Saitama University),Yasushi Yamano (Saitama University/University of Tsukuba)

キーワード: 真空|沿面放電|微小放電|絶縁体形状|vacuum|surface discharge|micro disucharge|insulator shape

要約(日本語): 真空を用いた科学分析機器では，固体絶縁体表面で発生する沿面放電やその前駆現象の微小放電が機器の安定的な運用の妨げとなっている。過去の研究[1][2]では，陰極と絶縁体の接触状態が真空中沿面放電に与える影響について調査されてきたが，マイクロアンペア程度の微小放電について調査した論文は少ない。本研究では，陰極及び絶縁体に凹凸部を設けた電極構成が微小放電特性に与える影響を調査した。その結果，陰極側に凹部を設けた試料が平坦な試料や絶縁体に凹部を設けた試料と比べて微小電流は小さく，絶縁破壊電圧も大きい結果となった。

本誌掲載ページ: 84-85 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 430 Kバイト