ダイヤモンド膜成長用の三角形状波に変調した減圧Ar/CH4/H2誘導熱プラズマの電磁熱流体解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-072

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル：ダイヤモンド膜成長用の三角形状波に変調した減圧Ar/CH₄/H₂誘導熱プラズマの電磁熱流体解析

タイトル(英語): Numerical Simulation on Ar/CH₄/H₂ Induction Thermal Plasma Field with Triangular Power Modulation at Reduced Pressures for Diamond Film Growth

著者名: 細井大和（金沢大学）,東泰造（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）

著者名(英語): Yamato Hosoi (Kanazawa University),Taizo Higashi (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University),Tatsuo Ishijima (Kanazawa University)

キーワード: ダイヤモンド|熱プラズマ|変調|diamond|thermal plasma|modulation

要約(日本語): 筆者らは，独自開発した変調型誘導熱プラズマ（MITP）によるダイヤモンド膜の高速成長を検討している。MITPでは基板に照射される熱流束・ラジカル粒子束を詳細に制御することができる。本研究室でのこれまでの実験結果から，より低い圧力下でAr/CH₄/H₂プラズマを照射するとダイヤモンド膜の成長速度が向上することがわかっている。本報告では，減圧下におけるダイヤモンド膜成長に寄与しうるラジカルと入力電力波形の関係を検討するため，三角波の立ち上がり時間の周期に対する比（R

本誌掲載ページ: 87-88 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 584 Kバイト