高繰り返しナノ秒パルスAr/CH4グロー放電を用いたプラズマを用いたDLC成膜

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-095

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル：高繰り返しナノ秒パルスAr/CH₄グロー放電を用いたプラズマを用いたDLC成膜

タイトル(英語): DLC film preparation using a high-repetition nanosecond pulsed Ar/CH4 glow discharge plasma

著者名: 玉越順也（兵庫県立大学）,川口瑞稀（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Junya Tamakoshi (University of Hyogo),Mizuki Kawaguchi (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo)

キーワード: DLC|プラズマ|DLC|plasma

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC）の低コスト成膜を目指して，ガス圧力1.2kPa下の高繰り返しナノ秒パルスHe/CH4グロー放電プラズマを用いた成膜を行ってきた。本実験ではさらなる低コスト化のため，希釈ガスをArに置き換えて成膜を行った。ガス圧力を0.36kPa～1.2kPaで変化させたところ，He/CH4プラズマでは膜中の水素含有量は約30％でほぼ一定であったが，Ar/CH4プラズマでは1.2kPaで57％と高く，0.36kPaで26％と低くなった。この結果から，ガス圧力を調節することで，Ar/CH4

本誌掲載ページ: 111-112 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 439 Kバイト