スロットアンテナを用いた矩形導波管モデルにおける電界強度シミュレーション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-096

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Simulation of Electric Field Strength in a Rectangular Waveguide Model with a Slot Antenna

著者名: 浦谷寛愛（金沢大学）,Bat OrgilErdenezaya（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）

著者名(英語): Hirochika Uratani (Kanazawa University),Erdenezaya Bat Orgil (Kanazawa University),Tatsuo Ishijima (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University)

キーワード: プラズマ|電界シミュレーション|plasma|electric field simulation

要約(日本語): ガス内で製膜材料にマイクロ波励起プラズマを照射し，基板に材料を吹き付けることで製膜が可能である。製膜速度の向上及び膜の大面積化にあたって，スロットアンテナ部に直接原料ガスを供給するために，矩形導波管にT字管を組み合わせたモデルを考案した。本検討では，スロットアンテナにおけるプラズマを最大化するために，電界シミュレーションを用いて最適なT字管の位置の探索を行った。本検討では，CST Studio Suite 2020を用いて電界シミュレーションを行った。電界強度のピークの値，電界強度のピークが現れるスロット

本誌掲載ページ: 112-113 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 466 Kバイト