窒化アルミニウム絶縁基板材料の電気的特性に与える焼成時間の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-023

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Effect of Sintering Time on Electrical Properties of Aluminum Nitride Insulating Substrate Materials

著者名: 奥村大吾（九州工業大学）,濵砂享平（九州工業大学）,小迫雅裕（九州工業大学）,匹田政幸（九州工業大学）,長見知史（トクヤマ）,山本光一（トクヤマ）

著者名(英語): Daigo Okumura (Kyusyu Institute of Technology)),Hamasuna Kyouhei (Kyusyu Institute of Technology)),Kozako Masahiro (Kyusyu Institute of Technology)),Hikita Masayuki (Kyusyu Institute of Technology)),Tomohito Nagami (Tokuyama),kouichi Yamamoto (Tokuyama)

キーワード: 絶縁基板|誘電特性|窒化アルミニウム|活性化エネルギー|Insulating Substrate|Dielectric Properties|Aluminum nitride|Activation energy

要約(日本語): 本研究の目的は，パワーモジュール用絶縁基板開発の指針確立への貢献である。これまで，我々はパワーモジュール用絶縁基板材料として広く用いられているAlNについて室温から450℃までの高温領域における誘電特性について調査してきた。そこで，本論文では，室温から450℃までの高温領域におけるAlN試料の誘電特性および絶縁特性に及ぼす焼成時間の影響について調査した結果を報告する。その結果，焼成時間が増加するに伴い絶縁性能が優れることがわかった。また，インピーダンスプロットを行うことで，バルクにおける各部のイオン伝導の

本誌掲載ページ: 24-25 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 580 Kバイト