誘電体表面加工を施した摩擦帯電型センサのフレキシブル化に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-036

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Study on Flexible Triboelectric Sensors with a Modified Dielectric Surface

著者名: 高嶋晴也（芝浦工業大学）,山﨑匠（芝浦工業大学）,KunpisitKosumsupamala（芝浦工業大学）,関宏範（芝浦工業大学）,NitiponPuttaraksa（芝浦工業大学）,西川宏之（芝浦工業大学）

著者名(英語): Haruya Takashima (Shibaura Institute of Technology),Takumi Yamasaki (Shibaura Institute of Technology),Kosumsupamala Kunpisit (Shibaura Institute of Technology),Hironori Seki (Shibaura Institute of Technology),Puttaraksa Nitipon (Shibaura Institute of Tec

キーワード: 摩擦帯電型センサ|摩擦帯電型ナノ発電機|集束陽子線描画|フレキシブル|Triboelectric sensor|Triboelectric nanogenerators|Proton beam writing|Flexible

要約(日本語): 私たちの生活を向上させる為にセンサの需要が拡大している。摩擦帯電型ナノ発電機（TENG）は機械エネルギーを電気エネルギーに変換するの技術であり，セルフパワータッチセンサに応用することができる。また，誘電体表面を加工することでセンサのパフォーマンスを向上させることが報告されている。本研究ではフレキシブルな銅テープを電極とした摩擦帯電型センサを作製し，集束陽子線描画装置（PBW）により誘電体表面にマイクロ加工を施し，出力の向上を図ることである。PMMA上にピット構造を作製し，もう一方の誘電体をPTFEとし垂直

本誌掲載ページ: 38-39 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 444 Kバイト