グリッド式コロナ電極を用いた半導体ウエハの抵抗測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-063

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Measurement of volume resistivity for semiconductor wafers using grid-type corona electrodes

著者名: 杉本優雅（山形大学）,杉本俊之（山形大学）

著者名(英語): Yuga Sugimoto (Yamagata University),Toshiyuki Sugimoto (Yamagata University)

キーワード: 半導体|静電気|高電圧|計測|コロナ放電|抵抗測定|semiconductor|static electricity|High-voltage|measurement|Corona discharge|Resistance measurement

要約(日本語): SiCに代表される高抵抗半導体ウエハの検査方法として，コロナ放電を用いた非接触抵抗測定法が検討され，体積抵抗率10?～1013Ω・cmのウエハの測定が可能になってきている。そこで，108Ω・cm以下の低抵抗側に測定領域を拡張するため，新規で針対グリッド電極を用いた測定装置を開発し，異なるグリッド電圧Vgにおいて測定物電流Iや推定されたウエハの体積抵抗率について調べた。107Ω・cm以下では，Vgが小さいほど理論値から離れる傾向がみられた。これは，グリッド電圧を上げること

本誌掲載ページ: 70-71 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 394 Kバイト