PLD法で作製した異方性Nd-Fe-B系磁石膜の磁気特性と結晶構造に与える成膜速度の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-085

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Effect of deposition rate on hard magnetic properties and structure of anisotropic Nd-Fe-B film magnets prepared by PLD method

著者名: 花田真一郎（長崎大学）,山本将輝（長崎大学）,山下昂洋（長崎大学）,柳井武志（長崎大学）,中野正基（長崎大学）

著者名(英語): Shinichiro Hanada (Nagasaki University),Masaki Yamamoto (Nagasaki University),Akihiro Yamashita (Nagasaki University),Takeshi Yanai (Nagasaki University),Masaki Nakano (Nagasaki University)

キーワード: 異方性磁石|PLD法|Nd-Fe-B|Anisotropic magnet|PLD method|Nd-Fe-B

要約(日本語): Nd-Fe-Bに代表される希土類磁石膜は，優れた磁気特性を有することから，小型モータやMEMSデバイスへ搭載されている。本研究室ではこれまでに，PLD（Pulsed Laser Deposition）法成膜時に基板へ直流電流を通電させた基板加熱を用いて異方性Nd-Fe-B系磁石膜を作製してきた。具体的には，基板へ通電させる電流値や成膜時間，レーザパワーを変化させることで，PLD法における異方性Nd-Fe-B系磁石膜の最適な作製条件を検討してきた。 本稿では，レーザパワー変化が試料の結晶構造に与える原因とし

本誌掲載ページ: 97-98 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 439 Kバイト