P（VDF/TrFE）を用いたフレキシブル圧電型MEMS超音波センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-134

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Flexible Piezoelectric MEMS Ultrasonic Sensor using P (VDF/TrFE)

著者名: 田中恒久（大阪産業技術研究所）,小森真梨子（大阪産業技術研究所）,宇野真由美（大阪産業技術研究所）

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Mariko Omori (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Mayumi Uno (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology)

キーワード: フレキシブル|MEMS|超音波センサ|圧電型|Flexible|MEMS|Ultrasonic Sensor|Piezoelectric

要約(日本語): MEMS技術を用いて，ポリイミドフィルム上に圧電型超音波センサ構造を有するフレキシブル超音波センサを開発した。受信特性を評価した結果，基材にシリコン基板を用いて作製した超音波センサと同等の特性を示した。開発したセンサは，配管等の曲面での計測が可能なフレキシブルセンサとしての応用が可能である。今後は本構造を用いた高周波超音波センサアレイの開発を行い，内部探傷センサ等への応用を目指す。

本誌掲載ページ: 205-206 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 446 Kバイト