静電容量型MEMS加速度センサの自動生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-156

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Automatic Generation of Capacitive MEMS Accelerometers

著者名: 佐藤優大（東京電機大学）,小松聡（東京電機大学）

著者名(英語): Yudai Sato (Tokyo Denki University),Satoshi Komatsu (Tokyo Denki University)

キーワード: MEMS|自動生成|加速度センサ|MEMS|Automatic generation|Accelerometers

要約(日本語): 従来のMEMS加速度センサの設計ではシミュレーションを使うため，ソフトウェアのライセンス使用料などのコストが必要となっている。しかし本論文では，シミュレーションを用いずに，限定された形状の加速度センサをシンプルなモデルに置き換え，計算モデルから加速度を印加した時の静電容量を算出した。さらにそれを加速度センサのパラメータの自動生成に適用する手法を提案した。提案した自動生成のシステムでは，入力した各パラメータに対して，その制約下で適したパラメータが出力されることを確認できた。今後の展望としては，試作したセンサ

本誌掲載ページ: 236-238 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 493 Kバイト