RFスパッタリング導入ガスによるITO薄膜ヘテロコア光ファイバセンサの屈折率感度への影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-170

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): Effect of Gas introduced during RF Sputtering on Sensitivity of ITO Thin Film Hetero-core Optical Fiber Refractive Index Sensor

著者名: 中村優奈（創価大学）,長尾裕司（創価大学）,渡辺一弘（創価大学）,西山道子（創価大学）

著者名(英語): Yuna Nakamura (Soka University),Yuji Nagao (Soka University),Kazuhiro Watanabe (Soka University),Michiko Nishiyama (Soka University)

キーワード: 酸化インジウムスズ|光ファイバセンサ|屈折率測定|ヘテロコア光ファイバ|高周波マグネトロンスパッタリング|Indium Tin Oxide|Optical Fiber Sensor|Refractive Index Measurement|Hetero-core Optical Fiber|Radio Frequency Magnetron Sputtering

要約(日本語): 近年，酸化インジウムスズ（ITO: Indium Tin Oxide）は透明電極として多くの産業分野で利用されており，また光ファイバ屈折率センサの感受性膜としても提案されている。しかし，ITO薄膜は，スパッタリング成膜時に酸素欠損が生じることが課題であった。本稿では，ITO（In2O3:SnO2 = 90:10）成膜における高周波（RF: Radio Frequency）マグネトロンスパッタリング導入ガスを，Ar100%と，酸素欠損を補填するためのAr99% + O2 1%の混合ガスの2種類で光ファイバ屈

本誌掲載ページ: 251-252 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 417 Kバイト