MEMS圧電薄膜による飛翔デバイスの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-179

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): MEMS piezoelectric thin-film flying device prototype

著者名: 田中雄樹（兵庫県立大学）,神田健介（兵庫県立大学）,前中一介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Yuki Tanaka,Kensuke Kanda,Kazusuke Maenaka

キーワード: MEMS|圧電薄膜|飛翔デバイス|試作|MEMS|Piezoelectric thin-film|Flying device|Prototype

要約(日本語): 現在，飛行ロボットの小型化研究として，数cmオーダーで110-120mWの消費電力で実現した例がある。更に小型化することで，配管内などの狭所でのガスの発生源探査センサ等として利用できるため，今後も更なる小型化が期待されている。そこで，本研究ではMEMS圧電薄膜を用いて，数mmオーダーのMEMS圧電薄膜による飛行ロボットの作製を試みた。しかし実際の昆虫の羽ばたき運動は，羽の変形も含めた複雑な機構である為，本研究ではまず，羽状のMEMS圧電薄膜素子を作製し，素子の動作を羽の駆動に着目して評価した。

本誌掲載ページ: 262-263 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 438 Kバイト