40個のカンチレバーを用いた高集積触覚センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-182

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

タイトル(英語): High-Density Tactile Sensor with Forty Cantilevers

著者名: 細川陽史（新潟大学）,川﨑雄記（新潟大学）,安部隆（新潟大学）,野間春生（立命館大学）,寒川雅之（新潟大学）

著者名(英語): Harufumi Hosokawa,Yuki Kawasaki,Takashi Abe,Haruo Noma,Masayuki Sohgawa

キーワード: MEMS|カンチレバー|触覚センサ|ひずみゲージ|集積化|PDMS|MEMS|cantilever|tactile sensor|strain gauge|density|PDMS

要約(日本語): 本研究ではカンチレバー型MEMS触覚センサに関して検知素子の数を40個に増やし，直径4mmと7mmの2周に渡って環状に並べることで検出範囲の広範囲化および高集積化を行った。人間の指先の触覚受容器の密度は最大で140個/cm²とされているため，今回設計したセンサはそれに倣い約100本/cm²以上の密度となるようカンチレバーを配置した。垂直・せん断力印加実験を行い，カンチレバー上のひずみゲージの抵抗変化を測定したところ，接触点検知型センサと比較すると感度は下がってい

本誌掲載ページ: 265-266 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 489 Kバイト