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SMA膜を用いたMEMS触覚ディスプレイ素子の開発

SMA膜を用いたMEMS触覚ディスプレイ素子の開発

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カテゴリ: 全国大会

論文No: S22-3

グループ名: 【全国大会】令和5年電気学会全国大会論文集

発行日: 2023/03/01

著者名: 峯田貴(山形大学)

本誌掲載ページ: 4-7 p

PDFファイルサイズ: 1,658 Kバイト

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