フェムト秒レーザー照射によるSiC表面周期構造形成過程のパルス分解観察

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-024

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Pulse-to-pulse observation of surface periodic structures on SiC by femtosecond laser irradiation

著者名: 千種晃平（徳島大学）,伏見勇人（徳島大学）,岡田達也（徳島大学）,富田卓朗（徳島大学）

著者名(英語): Kohei Chigusa (Tokushima University),Hayato Fushimi (Tokushima University),Tatsuya Okada (Tokushima University),Takuro Tomita (Tokushima University)

キーワード: フェムト秒レーザー|その場観察|レーザー誘起表面周期構造|femtosecond laser|In-situ observation|LIPSS

要約(日本語): 走査型電子顕微鏡を用いてその場観察光学系を構築し，フェムト秒レーザー照射によって形成されるSiC表面周期構造の形成過程のその場観察を行った。レーザーパルスを0~3000パルスの範囲で125パルスごとに照射すると，レーザー波長に対して1/2未満の周期を持つ構造が形成された。さらに，形成された構造周期とパルス積重数の関係性を調べるため，SEM像に対して高速フーリエ変換，モーメント解析を行った。解析結果から，パルス積重数が増加すると平均構造周期は小さくなる傾向があるという結果が得られた。また，偏光方向を90度回転させることで電界方向を90度回転させて，同様の実験を行った。

本誌掲載ページ: 32-33 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 746 Kバイト