コロナ放電を用いた高抵抗サンプルの非接触体積抵抗率測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-039

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Non-contact volume resistivity measurement for high resistivity samples using a corona discharge

著者名: 加藤詢平（山形大学）,杉本俊之（山形大学）

著者名(英語): Shunpei Kato (Yamagata University),Toshiyuki Sugimoto (Yamagata University)

キーワード: コロナ放電|非接触体積抵抗率測定|高抵抗半導体ウエハ|corona discharge|non-contact volume resistivity measurement|high Resistance Semiconductor Wafer

要約(日本語): コロナ放電を用いて高抵抗サンプルの体積抵抗率を非接触で測定するために，2つの針対グリッド電極からなるコロナ帯電装置および除電装置と電流計で構成される測定方法を開発した。板状の被測定物を非接触で挟むように設置し，被測定物にかかる電圧Vgと流れる電流Iを測定する。測定結果から計算された抵抗値Rm（=Vg/I）は被測定物の体積抵抗率Rvに依存する値となる。体積抵抗率の異なるシート状のサンプルを用いて，本測定法の較正を行うため，RvとRmの関係を調べ，体積抵抗率が108～1012Ωcmの領域で測定感度が高いことが分かり，SiCなどの高抵抗半導体ウエハの測定も可能であることを明らかにした。

本誌掲載ページ: 53-54 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 292 Kバイト