金属酸化物薄膜を有したアルミナ表面の帯電評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-042

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Surface charge of alumina insulator coated with metal oxide thin films

著者名: 小倉暁雄（筑波大学）,片桐創一（筑波大学）,姚遠昭（筑波大学）,野木広光（筑波大学）,蓮沼隆（筑波大学）

著者名(英語): Akio Ogura (University of Tsukuba),Souichi Katagiri (University of Tsukuba),Yuanzhao Yao (University of Tsukuba),Hiromitsu Nogi (University of Tsukuba),Ryu Hasunuma (University of Tsukuba)

キーワード: 真空|沿面放電|帯電|金属酸化物

要約(日本語): 真空中の固体絶縁物に高電圧が印加されると陰極三重点に電界が集中し，電子が電界放出される。その後，絶縁体表面の正帯電が進み，沿面なだれ放電が発生すると考えられている。絶縁体表面に金属酸化物膜を形成し，帯電除去の効果について検討した。アルミナ基板上に膜厚10 nmのTiNを成膜した後，酸素雰囲気中でベーキングし，金属酸化物薄膜（TiO₂）とした。ランプ電圧を印加した時の電流・表面電位を測定した。TiO₂コーティングしていないサンプルの場合，微小放電により表面電位が増加し続けるのに対し，TiO₂コーティングしたサンプルの場合は微小放電により瞬間的に表面電位は増加するが，その後除電され表面帯電が除去されることを確認した。

本誌掲載ページ: 56-57 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 366 Kバイト