吹付けレーストラック型誘導熱プラズマ装置における基板上線状プラズマに対する直上Ar/N2ガス流量比の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-066

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル：吹付けレーストラック型誘導熱プラズマ装置における基板上線状プラズマに対する直上Ar/N₂ガス流量比の検討

タイトル(英語): Ar/N₂ Gas Flow Ratio Infuence on Linear Plasma above Substrate in Racetrack Type Inductively Coupled Thermal Plasma System

著者名: 宮本匠（金沢大学）,不破知哉（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,幸本徹哉（シーヴィーリサーチ）,川浦廣（シーヴィーリサーチ）

著者名(英語): Takumi Miyamoto (Kanazawa University),Tomoya Fuwa (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University),Tatsuo Ishijima (Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto (CV Research),Hiroshi Kawaura (CV Research)

キーワード: 誘導熱プラズマ|流量比|線状プラズマ|inductively coupled thermal plasma|gas flow ratio|linear plasma

要約(日本語): 筆者らは熱プラズマによる大面積かつ高速表面改質を目指し，「吹付けレーストラック型ICTP装置」を新開発している。トーチ中央部からのAr/N₂ガス流量比を変更し，基板ホルダ1 mmにおいて分光観測を行い，長手方向のN原子スペクトル強度分布を比較した。N₂濃度を増加させると，N原子スペクトルは一様性を維持したまま強度は大きくなった。N原子スペクトル強度が増加した理由は，本実験範囲のN₂濃度増加に対しては，基板線状プラズマでは電子温度がある程度維持されたまま，濃度の高くなったN₂をより多く解離し，より多くのN原子が生じたためと考えられる。

本誌掲載ページ: 82-83 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 377 Kバイト