対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子エネルギー利得電界応答の駆動周波数比較

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-068

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Responses of electron energy gain to electric field at different driving frequencies in an inductively coupled plasma under confronting divergent magnetic fields

著者名: 岡崎凌大（北海道大学）,菅原広剛（北海道大学）

著者名(英語): Ryota Okazaki (Hokkaido University),Hirotake Sugawara (Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴磁界域|電子エネルギー利得|部分共鳴|モンテカルロシミュレーション|磁界設計|inductively coupled plasma|resonant magnetic field region|electron energy gain|partial resonance|Monte Carlo method|magnetic field design

要約(日本語): 対向発散磁界下の誘導結合プラズマでは共鳴磁界域で電子加熱が生じ易い部分共鳴現象が観察される。本研究では共鳴磁界域内外の電子加熱機構が駆動周波数fとその位相でどう変化するかに着目し電子エネルギー利得Gの電界応答を観察した。fによらず容器全体で電界前後各半周期のGのピークが異なるとの非対称性が現れた。高G域は電界の前後各半周期で容器側壁付近の強磁界域から中心側の弱磁界域へと移ろう様子が観察された。磁界下電子回転運動は一定方向だが，電子の電界加速は容器中心軸の周りに交番するため非対称性が現れる。また高G域の容器中心への移動は，最外縁の強磁界域では電子加熱が続かず，その内側の共鳴磁界域では継続するためと考えられる。

本誌掲載ページ: 84-85 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 564 Kバイト