高周波駆動対向発散磁界下誘導結合プラズマにおける磁界強度別電子エネルギー利得評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-069

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Evaluation of electron energy gain resolved by magnetic field strength in inductively coupled plasma under confronting divergent magnetic fields driven at high frequencies

著者名: 山北瑛伍（北海道大学）,岡崎凌大（北海道大学）,菅原広剛（北海道大学）

著者名(英語): Eigo Yamakita (Hokkaido University),Ryota Okazaki (Hokkaido University),Hirotake Sugawara (Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴磁界域|電子エネルギー利得|部分共鳴|モンテカルロシミュレーション|磁界分布|inductively coupled plasma|resonant magnetic field region|electron energy gain|partial resonance|Monte Carlo method|magnetic field distribution

要約(日本語): 集積回路等の製造工程におけるエッチング用誘導結合プラズマは対向発散磁界の印加と変調により基板損傷低減といった機能性が期待されるが，エッチング微細化のため低気圧にするとプラズマ維持が課題となり磁界下での効率的電子加熱が求められる。その手段としての高周波駆動の得失を検討するため，標準的な13.56MHz駆動に加え高周波27.12MHz駆動，40.68MHz駆動でモンテカルロ解析を行いプラズマ容器内電子エネルギー利得を算出した。電子加熱が起こる磁界強度を観察した結果，高周波駆動ではより明確に共鳴域で電子加熱のピークが見られその値も大きかった。誘導結合プラズマの高周波駆動は部分共鳴を利用した効率的電子加熱に有効と考えられる結果を得た。

本誌掲載ページ: 85-86 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 425 Kバイト