誘導結合プラズマ駆動周波数変更時の対向発散磁界下共鳴磁界域付近における電子加熱の解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-070

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Analysis of electron heating around resonant region under confronting divergent magnetic fields at various driving frequency of inductively coupled plasma

著者名: 村中伶羽（北海道大学）,林秀虎（北海道大学）,菅原広剛（北海道大学）

著者名(英語): Ryo Muranaka (Hokkaido University),Shugo Hayashi (Hokkaido University),Hirotake Sugawara (Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合プラズマ|対向発散磁界|部分共鳴|電子エネルギー|粒子モデルシミュレーション|inductively coupled plasma|confronting divergent magnetic fields|partial resonance|electron energy|particle model simulation

要約(日本語): 材料処理用低気圧誘導結合プラズマの密度維持と材料損傷低減等のため磁界による閉じ込めと電子加熱機構として有効と見込まれる部分共鳴（一時的電子サイクロトロン共鳴）の両立を目指し，部分共鳴発現に適した条件を探索している。駆動周波数を高めると強磁界で部分共鳴が発現しプラズマ維持に有利と考えられるため，異なる駆動周波数における単電子運動を解析し部分共鳴が生じる領域の磁界強度を比較した。駆動周波数が高くなると電子放出条件が同じでも共鳴磁界域に到達する電子数が増えるに伴い，部分共鳴発現と電子加熱量が増えた。また部分共鳴が発現する領域の磁界強度幅は異なる駆動周波数でも電子サイクロトロン共鳴の起こる磁界強度を中心にほぼ共通であった。

本誌掲載ページ: 86-87 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 389 Kバイト