DLC超高速成膜のためのガスインジェクションパルスプラズマCVD法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-079

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Gas-Injection Pulsed Plasma CVD Method for DLC Ultra-High-Rate Deposition

著者名: 針谷達（豊橋技術科学大学）,滝川浩史（豊橋技術科学大学）,國次真輔（岡山県工業技術センター）

著者名(英語): Toru Harigai (Toyohashi University of Technology),Hirofumi Takikawa (Toyohashi University of Technology),Shinsuke Kunitsugu (Industrial Technology Center of Okayama Prefecture)

キーワード: プラズマCVD|ダイヤモンドライクカーボン|Plasma CVD|Diamond-like carbon

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン膜を超高速成膜するためのパルスプラズマCVD法を提案する。ArとC₂H₂の混合ガスを基板へ噴きつけることで，基板近傍に低速プラズマ流を生成し，DLCの成膜速度を著しく向上した。

本誌掲載ページ: 97-98 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 225 Kバイト