高繰り返しナノ秒パルスAr/CH4グロー放電プラズマを用いたDLC膜の高速成膜

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-080

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル：高繰り返しナノ秒パルスAr/CH₄グロー放電プラズマを用いたDLC膜の高速成膜

タイトル(英語): High-speed preparation of DLC films using a high-repetition nanosecond pulsed Ar/CH₄ glow discharge plasma

著者名: 玉越順也（兵庫県立大学）,川口瑞稀（兵庫県立大学）,原優斗（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Junya Tamakoshi (University of Hyogo),Mizuki Kawaguchi (University of Hyogo),Yuto Hara (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン|高繰り返しナノ秒パルスグロー放電プラズマ|高速成膜|Diamond-like carbon|High-repetition nanosecond pulsed glow discharge plasma|High-speed preparation

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC）は高硬度や低摩擦性など優れた特性を持ち，高速成膜技術を確立して成膜コストを低減することで，より幅広い分野への適用が期待されている。本講演では，高繰り返しナノ秒パルスAr/CH4グロー放電プラズマを用いてDLCをSi基板に高速成膜した結果を報告する。実験ではプロセスガス圧力0.36kPa，電源周波数200~600kHzとし，基板温度約150℃にてプラズマ照射を行った。照射時間は各周波数で膜厚を約1 mmに揃えるため，5 ~ 15分とした。その結果，膜密度，膜硬度は電源周波数によらず，それぞれ約1.7 g/cm3，約12 GPaが得られ，成膜レートは周波数の増加とともにほぼ線形的に増加し，600 kHzで194nm/minが得られた。

本誌掲載ページ: 98-99 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 302 Kバイト