ZnO上のマイクロギャップにおける放電特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-086

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Discharge characteristics for micrometer-scale gap on zinc oxide

著者名: 岡本昂大（兵庫県立大学）,比田悠斗（兵庫県立大学）,三ツ橋昂起（兵庫県立大学）,岡田翔（兵庫県立大学）,上野秀樹（兵庫県立大学）

著者名(英語): Koki Okamoto (University of hyogo),Yuuto Hida (University of hyogo),Koki Mituhasi (University of hyogo),Shou Okada (University of hyogo),Hideki Ueno (University of hyogo)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|背後電極|酸化亜鉛|microscale-gaps|breakdown|backside electrode|zinc oxide

要約(日本語): 近年，微細化技術の発展に伴い，静電気放電（ESD）により外部から電流が流れることで，機器が損傷する原因となる。機器の損傷防止のために用いられている ESD保護デバイスは，動作の安定が目標となっている。そこで，電極を配置する基板として用いられる固体誘電体に酸化亜鉛セラミックス（ZnO）を使用した。ZnOは電圧-電流の非線形特性により動作電圧が安定すると考えられる。そこで本研究では，基板の固体誘電体にZnOとガラスを用いて数10 µmのギャップにパルス電圧を印加した際の放電特性を調査した。実験では絶縁破壊した際の電流経路を調査するために，ZnOとガラスの放電特性を比較検討した。

本誌掲載ページ: 104-105 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 447 Kバイト