静電チャック内部の不純物の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-001

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Effect of impurities inside the electrostatic chuck

著者名: 大森康平（静岡理工科大学）,菅原大和（巴川製紙所）,荒島純弥（巴川製紙所）,石田隆弘（静岡理工科大学）

著者名(英語): Kouhei Oomori (Shizuoka Institute of Science and Technology),Masakazu Sugawara (TOMOEGAWA CO., LTD),Junya Arashima (TOMOEGAWA CO., LTD),Takahiro Ishida (Shizuoka Institute of Science and Technology)

キーワード: 静電チャック|部分放電|絶縁体|Electrostatic chuck|Partial discharge|insulator

要約(日本語): 現在，半導体製造プロセスにおける生産効率を上げることを目的として，静電チャックに印加する電圧の高電圧化が検討されている。今回，高電圧印加時における静電チャック内部に不純物が含まれた場合の部分放電発生の様子について調べたので報告する。測定は静電チャックの一部を模擬した測定用モジュールに，不純物を挿入したサンプルを用いて行った。大きめの不純物を含む試料においてPDIVは大きく低下し，小さめの異物を含む試料BにおいてもPDIVの低下が確認された。放電開始電圧および放電電荷量を測定することにより，電極シート-基台間への不純物の混入および不純物の大きさを検出することの可能性が示唆された。

本誌掲載ページ: 1-2 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 295 Kバイト