タイル型CoFeB-SiO2薄膜磁心を用いた高周波対応スパイラルインダクタ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-094

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル：タイル型CoFeB-SiO₂薄膜磁心を用いた高周波対応スパイラルインダクタ

タイトル(英語): Spiral inductors with tile-patterned CoFeB-SiO₂ magnetic core for high frequency applications

著者名: 山中希未斗（東京工業大学）,仁田帆南（東京工業大学）,宮﨑達也（ローム）,石戸亮祐（ローム）,藤﨑敬介（豊田工業大学）,中川茂樹（東京工業大学）,髙村陽太（東京工業大学）

著者名(英語): Kimito Yamanaka (Tokyo Institute of Technology),Honami Nitta (Tokyo Institute of Technology),Tatsuya Miyazaki (ROHM Co., Ltd.),Ryosuke Ishido (ROHM Co., Ltd.),Keisuke Fujisaki (Toyota Technological Institute),Shigeki Nakagawa (Tokyo Institute of Technolog

キーワード: 高周波パワーエレクトロニクス|平面スパイラルインダクタ|ナノグラニュラー薄膜|high-frequency power electronics|planer spiral inductor|nanogranular thin film

要約(日本語): パワーエレクトロニクス回路用の磁気受動素子の高周波動作化と小型化は喫緊の課題である。我々は半導体プロセスで作製する平面インダクタに注目し，この磁心候補として，対向ターゲット式スパッタ法で高い面内一軸磁気異方性を持つナノグラニュラー薄膜を実現し，さらにスパイラルインダクタを試作・動作実証した。本研究では，このインダクタの浮遊容量を大幅に削減し自己共振点を高めるため，磁性膜をタイル形状に分割したタイル型磁心を導入する。タイルとタイル間の浮遊容量を考慮したインダクタの等価回路モデルの数値解析から自己共振点のシフト量を定量的に示した。さらにインダクタを試作し，磁心をタイル型に加工したことで自己共振点の高周波シフトを実証した。

本誌掲載ページ: 103-104 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 398 Kバイト