室温基板への希土類系磁石膜の創製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-106

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Preparation of rare-earth film magnets on substrates at room temperature

著者名: 東倖主（長崎大学）,福田樹（長崎大学）,田原楽飛（長崎大学）,山下昂洋（長崎大学）,柳井武志（長崎大学）,中野正基（長崎大学）,福永博俊（長崎大学）

著者名(英語): Kosuke Higashi (Nagasaki University),Itsuki Fukuda (Nagasaki University),Gakuto Tahara (Nagasaki University),Akihiro Yamashita (Nagasaki University),Takeshi Yanai (Nagasaki University),Masaki Nakano (Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga (Nagasaki Unive

キーワード: LIFT法|低温プロセス|MEMS|Nd-Fe-B系磁石膜|ガルバノミラー|PDMS|Laser Induced Forward Transfer|Low temperature process|MEMS|Nd-Fe-B film magnets|galvanometer mirror|PDMS（polydimethylsiloxane）

要約(日本語): 本稿では，磁石膜の室温での成膜プロセスの開発を目的として，LIFT（Laser Induced Forward Transfer）法を用い得られた試料の磁気特性の評価や結晶構造の観察結果を報告する。我々はMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）への磁石膜搭載を鑑み，PLD（Pulsed laser Deposition）法を用いたネオジム系磁石膜の成膜等を検討してきた。現状，300 ℃以下の低温基板に磁石膜を成膜した場合，結晶化のための熱処理が必要である。熱処理工程を省略できれば，低融点の有機材料を含むMEMS材料にも対応でき磁石膜の応用範囲が広がる。そこで本研究では，PLD法と同じくレーザを利用し室温基板への磁石膜成膜が期待されるLIFT法に着目した。

本誌掲載ページ: 117-118 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 346 Kバイト