高精度化に向けた真空封止とデカップリング構造をともなった振幅変調型加速度センサの動作検証

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-114

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Verification of an Amplitude Modulation Accelerometer with Vacuum Sealing and Decoupling Structure for High Accuracy

著者名: 川野遥暉（名城大学）,武田悠吾（名城大学）,畑良幸（名城大学）

著者名(英語): Haruki Kawano (Meijo University),Yugo Takeda (Meijo University),Yoshiyuki Hata (Meijo University)

キーワード: 加速度センサ|デカップリング構造|アラン分散|Accelerometer|Decoupling structure|Allan deviation

要約(日本語): 振幅変調型加速度センサの高精度化に向けて，高Q値化によるメカノイズの低減と，デカップリングセンサ構造による他軸感度の低減を図っている。また，高Q値化に伴う応答性の低下に対してはForce Rebalance制御の導入を図っている。本研究では，デカップリング構造をもつ2軸加速度センサを試作し，セラミックパッケージ内に真空封止を行い，Force Rebalance制御適応前のセンサ特性を明らかにした。振動Q値はX軸，Y軸ともに400程度となった。センサ感度はX軸とY軸においてそれぞれ69 mV_rms/gと66 mV_rms/gであり，2軸加速度検知を確認することができた。他軸感度は約14 mgであった。アラン分散値から求めたVelocity Random Walkはおおよそ11 µg/√Hzであることが分かった。

本誌掲載ページ: 162-164 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 538 Kバイト