二重マスクを用いた弾性的異方性を有するチタン箔の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-132

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Fabrication of Titanium Foils with Elastic Anisotropy Using Double-layered Etching Mask

著者名: 秦夷之（新潟大学）,海野一真（新潟大学）,大石恭徳（新潟大学）,寒川雅之（新潟大学）,安部隆（新潟大学）

著者名(英語): Yizhi Qin (Niigata University),Kazuma Kaino (Niigata University),Yasunori Oishi (Niigata University),Masayuki Sohgawa (Niigata University),Takashi Abe (Niigata University)

キーワード: チタン|微細加工|電解エッチング|フレキシブルデバイス|二重マスク|titanium|micro fabrication|electrolytic etching|flexible sensor|double-layered mask

要約(日本語): 二重マスク法と電解エッチング法を用いた力学的異方性を有するチタン箔の作製指の関節のような曲げ機構をフレキシブルデバイスに導入するためには，曲げやすさの異方性が必要である。また，大きな張力，圧縮力に曝されるために，耐久性が高い材料の利用が必要になる。本研究では，チタン箔に溝を作製し，負荷に対して，複数の箇所において異なる曲率となる変形が可能な構造を作製する技術を開発した。具体的には，フォトレジストとアルミナ薄膜からなる二重マスクを作製し，電解エッチング法で，階段状の形状の作製に成功した。本法は，関節機能を有するフレキシブルデバイスへの応用が期待される。

本誌掲載ページ: 182-183 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,011 Kバイト