Zアシスト機構を有する磁気浮上ステージの高精度制御系の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-136

グループ名: 【全国大会】令和6年電気学会全国大会論文集

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): Development of Precise Control System for Magnetic Levitation Stage with Z-Assist System

著者名: 加藤孝宜（日立製作所）

著者名(英語): Takanori Kato (Hitachi Ltd.)

キーワード: 磁気浮上ステージ|精密位置決め|制御系設計|magnetic levitation stage|precise positioning|control system design

要約(日本語): 近年，半導体製造装置や超精密工作機械では，ナノメートルスケールの位置決め精度が求められている。筆者らは真空環境に適用可能な，低漏洩磁場かつ低コストな長ストローク用の位置決め機構として，Zアシスト機構を搭載した粗微動型磁気浮上ステージを開発した。本稿では，Zアシスト機構を搭載した磁気浮上ステージに対して，6軸非干渉化を考慮した高精度位置決め制御系を設計し，実験によりナノメートルオーダの位置決めが可能であることを確認した。

本誌掲載ページ: 227-229 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 560 Kバイト