自己結合型微小振動PCSELセンサの自己結合信号に関する基礎研究
自己結合型微小振動PCSELセンサの自己結合信号に関する基礎研究
カテゴリ: 全国大会
論文No: 1-021
グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集
発行日: 2025/03/01
タイトル(英語): Basic Study on Self-Coupled Signals of a self-coupled Micro-Vibration Sensor
著者名: 石倉想也(愛知工業大学),佐藤大輝(愛知工業大学),五島敬史郎(愛知工業大学),津田紀生(愛知工業大学)
著者名(英語): Soya Ishikura (Aichi Institute of Technology),Daiki Sato (Aichi Institute of Technology),Keishiro Goshima (Aichi Institute of Technology),Norio Tsuda (Aichi Institute of Technology)
キーワード: PCSEL|センサ|レーザ|VCSEL|自己結合効果|微小振動|PCSEL|Sensor|Laser|VCSEL|Self-Coupling effect|Micro-Vibration
要約(日本語): 本研究では,高出力を実現するPhotonic Crystal Surface Emitting Laser (PCSEL)を用いた自己結合型微小振動センサを開発し,自己結合信号を観測した。自己結合効果は,レーザ光が対象物で反射し戻り光が活性層に再入射することで光出力が変化する現象である。PCSELの平行ビーム特性を活かし,集光レンズの焦点距離の2倍の位置に測定対象物を配置。圧電素子に1kHz,64Vの正弦波を印加し,光路長変化による自己結合信号を取得した。特に急峻な位相変動で信号が顕著に増大することを確認
本誌掲載ページ: 26-27 p
原稿種別: 日本語
PDFファイルサイズ: 571 Kバイト
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