半導体歪ゲージによる低温域での高感度・高精度測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-043

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): High sensitivity and precision measurements of semiconductor strain gauges at low temperature

著者名: 山本実奈（中部大学）,山田寛之（中部大学）,神田昌枝（中部大学）,山口作太郎（中部大学）

著者名(英語): Mina Yamamoto (Chubu university),Hiroyuki Yamada (Chubu university),Masae Kanda (Chubu university),Sataro Yamaguchi (Chubu university)

キーワード: 半導体歪ゲージ|低温|高感度|高精度測定|計測方法|Semiconductor strain gauge|Low temperature|High sensitivity|High precision measurement|Measurement method

要約(日本語): 歪ゲージは，幅広い分野で使用されて，基礎的なセンサーとされている。中部大学では，歪ゲージ計測の研究・開発を数年前に始め，継続している。主な内容は，歪ゲージ測定で長年広く利用されてきたブリッジ回路に代わり，新たなアナログ差分回路の提案である。この特徴は，従来のブリッジ回路に比べて感度が同じ定電流源を利用すると 4 倍になり，さらに四端子測定と同等の回路を利用するため，高精度の抵抗値測定と高精度電圧差分測定が可能である。また，従来の金属箔歪ゲージから半導体歪ゲージを用いることで，さらなる高感度測定が可能である

本誌掲載ページ: 54-56 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 584 Kバイト