カーリングプローブを使った電子温度計測の可能性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-045

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Prospects of Electron Temperature Measurement with Curling Probe

著者名: 小川大輔（中部大学）,中村圭二（中部大学）

著者名(英語): Ogawa Daisuke,Nakamura Keiji

キーワード: プラズマ|カーリングプローブ|計測技術|電子温度|plasma|Curling Probe|Diagnostics|Electron Temperature

要約(日本語): カーリングプローブはマイクロ波領域における共振現象を利用し，プラズマ中の電子密度の計測をすることができる。その一方で，通常このプローブを使った電子温度の計測は原理的にできないが，プローブが測定表面から数mm向こうの電子密度まで平均値を計測しているという特性と，プラズマのシース厚が電子温度に依存するという特性を利用し，電位温度の計測が可能であることがわかった。本報告ではシミュレーションソフトウェアを使った調査を示し，プローブ周辺に適切なバイアスを印加することにより，通常のプロセスプラズマで用いられる電子温度

本誌掲載ページ: 57-59 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 422 Kバイト