準大気圧He/O2パルスバリア放電におけるO原子の挙動計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-046

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル：準大気圧He/O₂パルスバリア放電におけるO原子の挙動計測

タイトル(英語): Behavior of Atomic Oxygen in Pulsed Barrier Discharge in Sub-atmospheric Pressure He/O₂ Mixture

著者名: 中川雄介（東京都立大学）,小林真矢（東京都立大学）,杤久保文嘉（東京都立大学）

著者名(英語): Yusuke Nakagawa (Tokyo Metropolitan University),Masaya Kobayashi (Tokyo Metropolitan University),Fumiyoshi Tochikubo (Tokyo Metropolitan University)

キーワード: 準大気圧プラズマ|酸素原子|レーザー誘起蛍光法|Sub-atmospheric pressure plasma|Atomic oxygen|Laser-induced fluorescence

要約(日本語): 大気圧プラズマの多様な処理対象を維持しつつラジカルの寿命を延長し処理効果を向上する手段として，大気圧からわずかに減圧した準大気圧プラズマに着目し，準大気圧He(50%)/O2パルスバリア放電におけるO原子ラジカルの挙動をレーザー分光法で測定した。圧力70 kPaの陽極近傍において，He/O2混合放電では純酸素放電よりも高いO原子密度が得られた。これはHe混合による電子エネルギー増大により，O2解離レートが向上したためと考えられる。また，O原子の時間変化では，放電後のO原子生成が観測された。これはHe混合放

本誌掲載ページ: 59-60 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 403 Kバイト