ICP放電窒素プラズマへのアルゴン混入による非平衡性の変化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-049

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Changes in non - equilibrium properties due to argon contamination of ICP discharge nitrogen plasma

著者名: 櫻井彩貴（東京科学大学）,山下雄也（東京科学大学）,YEYUCHEN（東京科学大学）,島谷和希（東京科学大学）,福本晃己（東京科学大学）,根津篤（東京科学大学）,赤塚洋（東京科学大学）

著者名(英語): AYAKI SAKURAI (Science Tokyo),YUYA YAMASHITA (Science Tokyo),YUCHEN YE (Science Tokyo),KAZUKI SHIMATANI (Science Tokyo),KOKI FUKUMOTO (Science Tokyo),ATSUSHI NUZU (Science Tokyo),hiroshi AKATUKA (Science Tokyo)

キーワード: プラズマ|回転温度|振動温度|plasma|Rotational temperature|Vibrational temperature

要約(日本語): 本研究では，窒素プラズマへのアルゴン添加がプラズマ状態に及ぼす影響を解明することを目的とし，アルゴンを混合した窒素プラズマ中の窒素分子の回転温度および振動温度を分光法を用いて測定した。窒素プラズマは誘導結合プラズマ放電により生成し，アルゴン添加プラズマ中の窒素分子からの発光スペクトルを分光計により取得した。得られたスペクトルを理論的に計算したスペクトルにフィッティングすることにより，窒素分子の回転温度および振動温度を算出した。さらに，アルゴンの混入率および印加電力を変化させて測定を行い，回転温度および振動

本誌掲載ページ: 62-63 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 399 Kバイト