ZnO板上マイクロギャップにおける放電挙動の印加電圧極性の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-050

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): The effect of polarity on discharge behavior in micrometer-scale gaps on zinc oxide plate

著者名: 岡本昂大（兵庫県立大学）,岡田翔（兵庫県立大学）,上野秀樹（兵庫県立大学）

著者名(英語): Koki Okamoto (University of hyogo),Sho Okada (University of hyogo),Hideki Ueno (University of hyogo)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|背後電極|酸化亜鉛|microscale-gaps|breakdown|backside electrode|zinc oxide

要約(日本語): 近年,半導体内部の高集積化に伴い，静電気放電 (ESD)による機器の損傷の対策として，ESD保護デバイスが実用化されている。ESDによって発生した電流の高速伝送が必要となっているため，高速伝送が可能なマイクロギャップ放電を利用したESD保護デバイスが注目されている。しかし，放電では正極性および負極性パルス電圧印加時放電形態が異なることが考えられる。沿面でのマイクロギャップ放電では，沿面放電となり放電開始電圧が低下したことが報告されている。先行研究では，ZnO上マイクロギャップ放電について報告されているが，

本誌掲載ページ: 63-64 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 333 Kバイト