TiO2薄膜コーティングしたアルミナ基板のフラッシオーバ電圧評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-056

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル：TiO₂薄膜コーティングしたアルミナ基板のフラッシオーバ電圧評価

タイトル(英語): Evaluation of surface flashover voltages of TiO₂-coated alumina substrates

著者名: 小倉暁雄（筑波大学）,片桐創一（筑波大学）,野木広光（筑波大学）,蓮沼隆（筑波大学）

著者名(英語): Akio Ogura (University of Tsukuba),Souichi Katagiri (University of Tsukuba),Hiromitsu Nogi (University of Tsukuba),Ryu Hasunuma (University of Tsukuba)

キーワード: 二次電子放出係数|フラッシオーバ|金属酸化膜|酸化チタン|secondary electron emission yield|surface flashover|metal oxide film|Titanium oxide

要約(日本語): 本研究は，絶縁体表面に金属酸化物膜を形成し，二次電子放出係数およびフラッシオーバ電圧（FOV）について評価した。アルミナ基板上に膜厚10 nmの窒化チタン（TiN）を成膜した後，酸素雰囲気中でアニールし，金属酸化物薄膜（TiO₂）とした。TiN，TiO₂（350℃，400℃）それぞれに対して二次電子放出係数（SEEY）を測定したところ，アルミナのピーク値4.2から1.8程度まで減少した。ランプ電圧を印加した時の平均FOVは，7.4 kV（アルミナ），32.0 k

本誌掲載ページ: 69-70 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 322 Kバイト