Ar＋H2タンデム型変調誘導熱プラズマにおける下段コイル電力変更がSiナノ粒子生成に及ぼす影響の数値解析的検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-078

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル：Ar＋H₂タンデム型変調誘導熱プラズマにおける下段コイル電力変更がSiナノ粒子生成に及ぼす影響の数値解析的検討

タイトル(英語): Influence of Power from Lower-coil for Si Nanoparticle Synthesis using Ar＋H₂ Tandem Modulated Induction Thermal Plasmas

著者名: 田中伶郎（金沢大学）,岡野里桜（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,末安志織（日清製粉グループ本社）,渡邉周（日清製粉グループ本社）,中村圭太郎（日清製粉グループ本社）

著者名(英語): Reo Tanaka (Kanazawa University),Rio Okano (Kanazawa University),yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University),Tatsuo Ishijima (Kanazawa University),Shiori Sueyasu (Nisshin Seifun Group Inc.),Shu Watanabe (Nisshin Seifun Group

キーワード: タンデム型変調誘導熱プラズマ|数値解析|ナノ粒子生成|下段コイル電力|Tandem Type Modulated Inductivity Thermal Plasma|Numerical Study|Nanoparticle Synthesis|Power from Lower-coil

要約(日本語): 筆者らは，変調型誘導熱プラズマを用いてSi系ナノ材料を生成する際，シースガスArとともにH₂を導入することで生成物の平均粒径を小さくでき，かつ還元作用により酸素含有量を制御できることを実験的に見出している。さらに，Ar-H₂熱プラズマ電磁熱流体とナノ粒子生成・成長を考慮した数値解析モデルを開発してきている。本報はタンデム型変調誘導熱プラズマにおける下段コイル電力がSiナノ材料生成に与える影響を数値解析的に検討した。本数値解析ではシースガスArを90 L/minに

本誌掲載ページ: 95-96 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 355 Kバイト