誘導結合磁化プラズマ電子閉じ込め効果下での電子加熱励磁コイル間隔依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-081

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Dependence of electron heating on coil separation under electron confinement in inductively coupled magnetized plasma

著者名: 山北瑛伍（北海道大学）,岡崎凌大（北海道大学）,菅原広剛（北海道大学）

著者名(英語): Eigo Yamakita (Hokkaido University),Ryota Okazaki (Hokkaido University),Hirotake Sugawara (Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴磁界域|電子エネルギー利得|部分共鳴|モンテカルロシミュレーション|磁界分布|inductively coupled plasma|resonant magnetic field region|electron energy gain|partial resonance|Monte Carlo method|magnetic field distribution

要約(日本語): 対向発散磁界下誘導結合プラズマは，分界面による電子閉じ込め効果により，基板の損傷低減等様々な利点が期待される。一方で磁気冷却効果に打ち勝つためプラズマ維持には効率的電子加熱が求められる。先行研究では電子閉じ込めの効く強磁界下でプラズマを従来より高周波で駆動することでより高いエネルギー利得（EEG）が得られた。一方でコイル間隔を変え共鳴域の位置や範囲を変えたとき，駆動周波数ごとに高EEGを得られる最適値が見られた。本報告では高EEGが得られた条件での電子分布を調査し，電子閉じ込めを効かせつつ電子加熱が行える

本誌掲載ページ: 98-99 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,101 Kバイト