湾曲分界面対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子加熱分布のアンテナ高さ依存性数値解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-082

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Numerical Analysis of Dependence of Electron Heating Distribution on RF Antenna Height in Inductively Coupled Plasma under Confronting Divergent Magnetic Fields with Arched Separatrix

著者名: 岡崎凌大（北海道大学）,菅原広剛（北海道大学）

著者名(英語): Ryota Okazaki (Hokkaido University),Hirotake Sugawara (Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合磁化プラズマ|共鳴磁界域|電子エネルギー利得|部分共鳴|モンテカルロシミュレーション|磁界設計|inductively coupled plasma|resonant magnetic field region|electron energy gain|partial resonance|Monte Carlo method|magnetic field design

要約(日本語): 対向発散磁界下の誘導結合プラズマでは分界面の片側で高電子数密度とすることができ，材料損傷低減などの機能性が期待される。また，共鳴域で電子加熱が生じ易い部分共鳴現象が観察される。先行研究では電子数密度n_eの分布，電子加熱Gの分布の位置制御を期待し，上下励磁コイル電流比を変化させた。このとき，分界面は上にたわみ電子閉込め領域は限定されるので高n_e領域が変化し，共鳴域は高電界域に近づきGが増す結果

本誌掲載ページ: 99-100 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 693 Kバイト