高繰り返しナノ秒パルスAr/CH4グロー放電プラズマ照射により成膜したDLC膜の機械特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-090

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル：高繰り返しナノ秒パルスAr/CH₄グロー放電プラズマ照射により成膜したDLC膜の機械特性

タイトル(英語): Mechanical properties of DLC films prepared by high-repetition nanosecond pulsed Ar/CH₄ glow discharge plasma irradiation

著者名: 北口蓮（兵庫県立大学）,玉越順也（兵庫県立大学）,大里辰希（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Ren Kitaguchi (University of Hyogo),Junya Tamakoshi (University of Hyogo),Tatsuki Osato (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン|高繰り返しナノ秒パルスグロー放電|成膜|Diamond-like carbon|High-repetition nanosecond pulsed glow discharge|Film deposition

要約(日本語): 本講演では，高繰り返しナノ秒パルスAr/CH4グロー放電プラズマを用いて成膜したダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜の機械特性を評価した結果を報告する。実験ではプロセスガス圧力0.36 kPa, 電源のパルス幅250 ns，周波数600 kHzとし，基板温度83℃から213℃にてプラズマを10分間照射し，膜厚約1.0 umのDLCをSi基板上に成膜した。その結果，膜硬度，膜密度は基板温度に対してほぼ線形に増加し，それぞれ約2.1 g/cm3, 約16 GPaが得られた。また，動摩擦係数は基板温度によらず

本誌掲載ページ: 108-109 p

原稿種別: 日本語