発光分光法によるHe/O2大気圧非平衡プラズマのO原子相対密度の診断に及ぼす電子エネルギー分布関数の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-094

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル：発光分光法によるHe/O₂大気圧非平衡プラズマのO原子相対密度の診断に及ぼす電子エネルギー分布関数の影響

タイトル(英語): Influence of Electron Energy Distribution Functions on Diagnostics of O-atom Relative Density in He/O₂ Atmospheric-Pressure Plasmas by Optical Emission Spectroscopy

著者名: 中野俊樹（防衛大学校）,明石治朗（防衛大学校）,北嶋武（防衛大学校）

著者名(英語): Toshiki Nakano (National Defense Academy),Haruaki Akashi (National Defense Academy),Takesji Kitajima (National Defense Academy)

キーワード: 大気圧非平衡プラズマ|発光分光法|プラズマ診断|酸素原子|atmospheric-pressure plasma|optical emission spectroscopy|plasma diagnostics|oxygen atom

要約(日本語): 高速繰り返し短パルス電圧と狭ギャップ電極系を用いたプラズマ生成は，大気圧下で非平衡性の高いプラズマを生成する上で有効な手法である。本報告ではHe/O₂ガスで生成したプラズマ中のO原子相対密度に与えるパルス電圧の立ち上がり時間の影響を発光分光法により診断し，その結果に及ぼす電子エネルギー分布関数（EEDF）の影響を検討した。EEDFとしてボルツマン方程式の数値解とマックウェル分布を用いて診断した結果，O原子相対密度はどちらの場合でも1以上となり，立ち上がり時間の減少によりO原子密度は増

本誌掲載ページ: 112-113 p

原稿種別: 日本語