静電チャックの下部電極径と内部電極径の違いによる部分放電特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-006

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Partial discharge Characteristics with Difference Inner Electrode Diameter and Lower Electrode Diameter of Electrostatic Chuck

著者名: 大森康平（静岡理工科大学）,菅原大和（巴川コーポレーション）,荒島純弥（巴川コーポレーション）,石田隆弘（静岡理工科大学）

著者名(英語): Kouhei Oomori (Shizuoka Institute of Science and Technology),Masakazu Sugawara (TOMOEGAWA CORPORATION),Junya Arashima (TOMOEGAWA CORPORATION),Takahiro Ishida (Shizuoka Institute of Science and Technology)

キーワード: 静電チャック|部分放電|絶縁体|Electrostatic chuck|Partial discharge|insulator

要約(日本語): 現在半導体製造プロセスにおける生産効率を上げることを目的として，静電チャックに印加する電圧の高電圧化が検討されている。静電チャックの一部を模擬した測定用モジュールを巴川コーポレーションにて製作し，試験サンプルとした。内部電極よりアルミ電極径が大きいサンプルと，内部電極よりアルミ電極径が小さいサンプルにおいて部分放電開始電圧・放電電荷量を測定した。内部電極よりアルミ電極径が大きいサンプルと比較して，内部電極よりアルミ電極径が小さいサンプルでは部分放電開始電圧の大きな低下が確認された。電極シート内部の内部電極

本誌掲載ページ: 6-7 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 409 Kバイト