MEMS-PZTを用いた高温用高位置分解能空間電荷分布測定システムの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-020

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Development of High Temperature and High Position Resolution Spatial Charge Distribution Measurement System using MEMS-PZT

著者名: 中嶋海翔（東京都市大学）,山中誠也（東京都市大学）,三宅弘晃（東京都市大学）,田中康寛（東京都市大学）,神田健介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Kaito Nakashima (Tokyo City University),Seiya Yamanaka (Tokyo City University),Hiroaki Miyake (Tokyo City University),Yasuhiro Tanaka (Tokyo City University),Kensuke Kanda (University of Hyogo)

キーワード: パルス静電応力法|空間電荷分布測定|高温|薄膜絶縁材料|チタン酸ジルコン酸鉛|pulsed electroacoustic method|space charge distribution measurement|high temperature|thin film insulating material|lead zirconate titanate

要約(日本語): 近年，電気機器の小型化に伴い，30 μm以下の薄膜絶縁材料が高温環境下で使用されている。それらの空間電荷蓄積特性評価のために，ポリマー製薄膜圧電素子を製膜し，高温・高位置分解能の空間電荷測定装置を開発してきたが，薄膜化の限界と耐熱性により，高温での薄膜絶縁材料の評価が困難であった。本研究では，耐熱温度が600℃で，薄膜化が可能なチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3: PZT)をセンサとして空間電荷分布測定装置を構築し，25μm厚の薄膜ポリイミド(polyimide: PI)フィルムを用いて140

本誌掲載ページ: 21-22 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 412 Kバイト