Fabrication of Diaphragm Structure using Fiber Laser Local Etching

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-122

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Fabrication of Diaphragm Structure using Fiber Laser Local Etching

著者名: Mohamed ZukriMohammad Nizar（Hiroshima City University）,Al FarisiMuhammad Salman（Hiroshima City University）,HasegawaYoshihiro（Hiroshima City University）,ShikidaMitsuhiro（Hiroshima City University）

著者名(英語): Mohammad Nizar Mohamed Zukri (Hiroshima City University),Muhammad Salman Al Farisi (Hiroshima City University),Hasegawa Yoshihiro (Hiroshima City University),Shikida Mitsuhiro (Hiroshima City University)

キーワード: ファイバレーザ|局所エッチング|ダイアフラム構造|再付着除去|冷却プロセス|ガウシアンビームプロファイル|Fiber Laser|Local Etching|Diaphragm Structure|Redeposition Removal|Cooling Process|Gaussian Beam Profile

要約(英語): This study focuses on fabricating diaphragm structures for sensors and micro-actuators using fiber laser local etching. Challenges such as material redeposition, surface discoloration, and tearing, caused by the Gaussian beam profile, thermal effects, and

本誌掲載ページ: 182-183 p

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 447 Kバイト