DLCフレークを利用した水素ガスセンサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-127

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Development of Hydrogen Gas Sensor with DLC Flakes

著者名: 阿部紘佳（東京電機大学）,西谷平（東京電機大学）,金杉和弥（東京電機大学）,平栗健二（東京電機大学）,石黒康志（防衛大学校）

著者名(英語): Hiroka Abe (Tokyo Denki University),Taira Nishitani (Tokyo Denki University),Kazuya Kanasugi (Tokyo Denki University),Kenji Hirakuri (Tokyo Denki University),Yasushi Ishiguro (National Defense Academy)

キーワード: DLC|DLCフレーク|水素ガスセンサ|水晶振動子マイクロバランス|DLC|DLC flakes|hydrogen gas sensor|QCM

要約(日本語): 現状の水素ガスセンサには材料として白金などの貴金属触媒が使用されており，動作には300℃以上の高温が必要で, 将来的な資源枯渇や安全性, 省電力性に課題がある。水晶振動子マイクロバランス(QCM)デバイスは室温動作可能であるため, このような問題の解決策として有効である。現在, QCMデバイスを基板とし, その水素ガス吸着膜に, 資源が豊富であり, 膜質制御性に優れる独自の窒素含有非晶質炭素(N-DLC, 以下DLC)を採用した研究が報告されている。しかし, 現状では従来型水素ガスセンサに比べて感度が低い

本誌掲載ページ: 190-191 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 408 Kバイト