ハーモニカリード型MEMS発電素子における素子厚みによる振動特性への影響評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-135

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Influence of device thickness on vibration characteristics for harmonica reed-type MEMS energy harvesters

著者名: 遠藤七海（兵庫県立大学）,神田健介（兵庫県立大学）,前中一介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Nanami Endo (University of Hyogo),Kensuke Kanda (University of Hyogo),Kazusuke Maenaka (University of Hyogo)

キーワード: エナジーハーベスタ|風入力|圧電MEMS|ハーモニカリード|Energy harvesting device|airflow input|piezoelectric MEMS|harmonica reed

要約(日本語): 風はさまざまな場所に存在し，IoTセンサのエネルギ源の重要な候補のひとつである。ハーモニカリードは気流による抗力と間隙を流れるジェットによる負圧により自励振動を生じ，薄くMEMSに適した構造である。本研究では，自励振動から電力を得るハーモニカリード型MEMS振動発電素子のリード厚みに着目した。複数のリード厚みの素子を作製し，自励振動に関する評価を行った。厚みが小さい素子は自励振動が生じるカットイン風速が低く，推奨される風速範囲も小さい。厚みが大きい素子は振動が安定することがわかった。また，リードの厚みはそ

本誌掲載ページ: 198-200 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 956 Kバイト